THS是一款基于光学焦距检测方法、结合两个显微光学系统(表面和底面),采用精密对焦指示器的非接触式厚度测量系统。当观察到准确的位置和图像时，即可测量厚度，*大测量厚度为25mm。本机采用光学系统，操作简单，可清楚显示准确的对焦位置。
厚度测量：
测量步骤：
1.在工作台未放置工件时，垂直移动上对焦系统，待两个显示器上都显示对焦准确的符号后，将Z轴计数器归零。
2.放上工件，移动下对焦系统，对工件底部对焦。
3.移动上对焦系统，对工件上表面对焦。上对焦系统移动的距离即为工件的厚度。
技术规格：
| 型号 |
测量行程 |
精度 |
| THS-10 |
X：100mm Y:100mm |
1um(0.1um 可选配) |